ÒÂ×ÅʽÖÇÄÜ×°±¸×÷ΪÄÜ¿ìËÙÌá¸ßÉúÑÄÖÊÁ¿µÄ²úÆ·ÏÖÔÚÒѾÐìÐìÈÚÈëµ½Ò»Ñùƽ³£ÉúÑÄÖС£ÆäÖУ¬ÖÇÄÜÊÖ»·ÒÔ±ãЯºÍÔ½·¢¶àÔªµÄ¹¦Ð§£¬»ñµÃÁ˹«¹²µÄÈϿɡ£
¡¡¡¡°ëµ¼ÌåоƬ×÷ΪÊÖ»·µÄ“ÐÄÔà”£¬³ÐÔØ×Å¿µ½¡ÌáÐÑ¡¢ÐÅÏ¢ÌáÐÑ¡¢ÐÄÂʲâÊÔ¡¢ÑªÑõº¬Á¿¼ì²âµÈ¸ü¸»ºñµÄ¹¦Ð§¡£ÎÒÃDz»¾·¢³öÒÉÎÊ£º“ΪʲôÕâССµÄоƬ¿ÉÒÔʵÏÖÔ½À´Ô½ÖØ´ó¶àÑùµÄ¹¦Ð§£¿”
¡¡¡¡½ñÌ죬¾ÍÈÃÎÒÃÇÒ»ÆðÓÃʧЧÆÊÎöµÄ³£¼ûÊֶΣ¬½Ò¿ªÖÇÄÜÊÖ±íÄÚ²¿Ð¾Æ¬µÄÉñÃØÃæÉ´£¡
¡¡¡¡Ê×ÏÈ£¬ÔÚÕýÊ½ÆÆËðÐÔ²ð½âǰÏÈÈÃÎÒÃǼòÆÓµÄ¿´Ò»ÏÂËüµÄ½á¹¹¡£
¡¡¡¡X-ray
¡¡¡¡XÉäÏßɨÃè¿ÉÒÔÎÞËðµØ¼ì²é¼üºÏÏß¡¢PCB»ù°å¡¢Í¨¿×¡¢TSVµÈ³£¼ûÆ÷¼þ½á¹¹¡£
¡¡¡¡³ý´ËÖ®Í⣬X-rayÒ²¿ÉÒÔÎÞËðµØÊӲ쵽оƬÄÚ²¿µÄÖÖÖÖÒì³££¬ÀýÈ磺ÉÕÉË¡¢ÆÓª/·Ö²ã¡¢¶Ì·/¿ªÂ·µÈ£¬Ìáǰʶ±ðʧЧµãλ¡£
¡¡¡¡ÔÚʧЧÆÊÎöÖУ¬OM³£ÓÃÓÚÅжÏоƬÍâ¹ÛÊÇ·ñÓÐÁÑÎÆ¡¢ÆÆËðµÈÒì³£Õ÷Ïó¡£
¡¡¡¡3D-OM
¡¡¡¡±ÈÕչŰåÌåʽÏÔ΢¾µ»ò½ðÏàÏÔ΢¾µ£¬3D-OM¿ÉÕë¶ÔÖݪֲî±ð¾Û½¹¸ß¶ÈµÄ´ý²âÎïÌ壬¾ÙÐг¬¾°ÉîºÏ³ÉʵÏÖÖÜÈ«ÇåÎúµÄÓ°Ïñ¡£
¡¡¡¡Èçͼ£¬½«ÊÖ»·µÄÆÁÄ»ÓÃÈÈ·çǹ¼ÓÈȺóÓëºó¸ÇÊèÉ¢£¬Í¨¹ý3D-OM¿ÉÒÔÔ½·¢ÇåÎúµØ¿´µ½Ö÷°åICµÄËùÓÐÐÅÏ¢£¬°üÀ¨ÎÒÃǽñÌìµÄÁ½Î»Öذõ¼Î±ö–Ö÷¿ØºÍ´æ´¢Ð¾Æ¬¡£
¡¡¡¡ÔÚ¾ÒÑÍù³ýËܷ⽺ºó£¬Ð¾Æ¬·â×°ÄÚµÄÂãо½«ÍêÈ«·ºÆðÔÚÎÒÃÇÑÛǰ¡£¶ø3D-OMµÄ·Å´ó±¶ÂÊ¿ÉÒÔµÖ´ï2000±¶£¬¿ÉÒÔÊӲ쵽Ðí¶àϸСÒì³£µÄͬʱ£¬Ò²¿ÉÒÔ½«¾Ö²¿·Å´óµÄͨ¹ýÆ´½ÓµÄ·½·¨×éºÏ³ÉÒ»ÕÅÍêÕûµÄ¸ßÇø·ÖÂʵÄÕûÌåͼ£¬¼æ¹Ëϸ½ÚºÍȫò¡£
¡¡¡¡ÒÔÏÂÎÒÃÇÒ²·ÖÏíһЩ£¬Ê¹ÓÃ3D-OMÅÄÉãµ½µÄ³£¼ûÒì³££¬ÀýÈçÉÕÉË¡¢ÁÑÎÆµÈ¡£
¡¡¡¡ÔÚͨ¹ý3D-OMÊÓ²ìÍêоƬÍâòµÄÐÎò֮ºó£¬ÍùÍùÎÒÃÇÒª½øÒ»²½ÊÓ²ìоƬ½ØÃæµÄÕûÌåÐÎò¡£
¡¡¡¡SEM£¨É¨Ãèµç×ÓÏÔ΢¾µ£©
¡¡¡¡Í¨³£ÎÒÃÇ»á½ÓÄÉ»·ÑõÊ÷Ö¬½«Ð¾Æ¬¾ÙÐÐÏâÂñ£¬ÔÙ¾ÐÐÑÐÄ¥¡¢Àë×ÓÑÐÄ¥»ú´òÄ¥£¬Ö®ºó¾Í¿ÉÒÔ½øµ½SEM£¨É¨Ãèµç×ÓÏÔ΢¾µ£©ÊÓ²ìÕû¸öоƬºá½ØÃæµÄÐÎò¡£
¡¡¡¡ÑÐÄ¥Ö®ºóµÄ½ØÃæ¾ÓÉÀë×ÓÅ×¹âÖ®ºó½çÃæ¸üÇåÎú£¬ÇÒ¿ÉÒÔ×îºéÁ÷ƽÉÏïÔ̽ðÊôÐαäÁ¿£¬¼°Ïû³ýÑÐÄ¥»ØÌîºÍ»úеӦÁ¦ËðÉË¡£
¡¡¡¡ÑÐÄ¥½ØÃæ¿ÉÒÔÊӲ쵽Õû¸öÑùÆ·µÄ·â×°¡¢´òÏß¡¢º¸½Ó¼°×ßÏßµÄÇéÐΣ¬Á¬´ø·â×°Ò»ÆðÊÓ²ì¹ØÓÚÖÆÆ·Ð¾Æ¬ÓÐÒ»¸öÖÜÈ«µÄÏàʶ£¬Í¬Ê±Ê¹ÓÃSEMÉèÖõÄEDSÄܯף¬ÎÒÃÇ¿ÉÒÔ¶Ô¸ÐÐËȤµÄλÖþÙÐÐÒòËØÆÊÎö¡£
¡¡¡¡Ê§Ð§ÆÊÎöÊǼì²âоƬ¿É¿¿ÐÔµÄÒªº¦°ì·¨£¬Ëü¿ÉÒÔ×ÊÖúÎÒÃÇʶ±ðоƬʧЧµÄ»ù´¡Ôµ¹ÊÔÓÉ£¬¹ØÓÚ°ü¹Ü²úÆ·¿É¿¿ÐÔ¡¢ÓÅ»¯Éú²úÁ÷³Ì¡¢½µµÍάÐÞ±¾Ç®ÒÔ¼°Ô¤·ÀδÀ´ÀàËÆÎÊÌâ¾ßÓÐÖ÷ÒªÒâÒå¡£
¡¡¡¡ÏÂÒ»ÆÚ£¬ÎÒÃǽ«´ø¸÷È˼ÌÐøÉîÈëоƬµÄÉñÃØÄÚ²¿£¬Ì½Ë÷ÄÇЩÈâÑÛ¿´²»¼ûµÄÊÂÒµ£¬Æô³Ì½øÈëÒ»¸öÔ½·¢ÇÉÃîµÄ΢¹ÛÌìÏ£¡